| 仪器设备基本信息 | ||
| 设备名称： | 甚高频等离子体化学气相沉积系统 |
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| 仪器型号： | VHF-PECVD | |
| 所属企业： | 陕西师范大学材料科学与工程学院 | |
| 所属类别： | 电子测量仪器(其他) | |
| 设备原值： | 661.83 | |
| 制造厂商： | Mvsystem inc. | |
| 生产国别： | 美国 | |
| 购置日期： | ||
| 服务方式： | 对外服务 | |
| 仪器设备详细指标 | ||
| 主要技术指标： | 6英寸硅基薄膜电池全自动工艺集成系统； 3个PECVD腔室 1个Sputter腔室； 极限真空：10-5Pa； | |
| 功能/应用范围： | a-Si、nc-Si、nc-SiGe、Ge量子点、AZO、ITO 薄膜； | |
| 服务领域： | ||
| 技术特色： | 无 | |
| 联系方式 | ||
| 联系人： | 刘生忠 | |
| 联系方式： | 029-81530785 | |
