| 单位简介 |
2011年经《教育部关于2011年度教育部重点实验室立项建设的通知》（教技函【2011】93号）文件批复，批准建设空天微纳系统教育部重点实验室。现已建成具备国内一流、国际先进的实验条件，在典型航空航天微器件系统、MEMS集成设计研究方面处于国内领先、国际先进水平，已成为我国重要的微纳系统科研及创新人才培养基地。
依托实验室建设发展了机械电子工程国家重点学科、微机电系统及纳米技术新兴交叉学科及国防重点学科。机械工程联合仪器科学与技术、光学工程、生物医学工程等多个学科建立起的有博士授予权的新兴交叉学科，是“十五”、“十一五”重点建设学科，国家“985工程”重点建设项目，入选教育部“985工程”建设十年典型案例。此外，实验室还拥有仪器科学与技术一级学科博士点、机械工程一级学科博士点等。
依托实验室建设发展了机械电子工程国家重点学科、微机电系统及纳米技术新兴交叉学科及国防重点学科。机械工程联合仪器科学与技术、光学工程、生物医学工程等多个学科建立起的有博士授予权的新兴交叉学科，是“十五”、“十一五”重点建设学科，国家“985工程”重点建设项目，入选教育部“985工程”建设十年典型案例。此外，实验室还拥有仪器科学与技术一级学科博士点、机械工程一级学科博士点等。
实验室已经在航空航天微纳系统方面进行了大量的基础和工程应用研究。建设期间，获得国家重大科学仪器设备开发专项1项，国家重大仪器设备开发专项子课题1项，国防科工局以及中组部青年拔尖人才支持项目1项，973子课题2项，国家863项目2项以及国家自然科学基金面上项目8项等，项目经费累计超过1.2亿元。在研究成果方面，获得国家技术发明二等奖1项、国家教学成果一等奖1项、省部级一等奖2项、二等奖2项。实验室共申请国家发明专利180项，授权120项，建设期间授权发明专利70项，其中国防发明专利12项；出版学术专著及教材3部，其中《微机电系统(MEMS)制造技术》获国家科学技术学术著作出版基金资助。在国内外重要学术刊物上发表论文280余篇，SCI、EI收录200余篇，包括在本领域顶级学术期刊Journal of Microelectromechanical systems上发表7篇学术论文。 |
